光譜共焦位移感測器
H15A20系列
▶ 產品介紹
技術新突破
自主研發推出第一款入光出光獨立的光譜共焦位移感測器、分離通道光纖，比傳統光纖減少50%以上光通路干擾，解決產業數十年來困擾。
最高測試精度達次微米級，面對透明薄膜最薄可測8μm。
超高測量精度
業界領先水平，產品解析度可達1nm級別。
自主研發靜態重複精度10nm等級的光譜共焦鏡頭，光斑小至3μm，光路較清晰，超高解析度可精準分離測量超薄膜樣品表面及背面反射光。
高穩定性
自主研發光結構，擁有穩定精密光學系統，不具惡劣環境，穩定測量。
採用高效率且準確的峰值擷取、濾波處理演算法。可準確快速的擷取峰值波長，確保光譜共焦感測器測量精度直線性
▶ 產品特色
- 高精度型
- 高解析度
- 適用小空間伸入測量
▶ 命名規則
| H15 | R1 | A20 | S13 |
|---|---|---|---|
| 產品直徑(mm) | 測量量程(mm) | 最大測量角度 | 光斑大小(μm) |
▶ 產品規格
| 型號 | H15R1A20S13 | H15R07A20S13 | H15R03A20S13 |
|---|---|---|---|
| 外觀尺寸 | 15mm*101.3mm | 15mm*101.3mm | 15mm*101.3mm |
| 基準距離 | 13.8mm | 14.2mm | 14.2mm |
| 測量範圍 | ±0.7mm | ±0.35mm | ±0.15mm |
| 最大可測角度 | ±20°鏡反射面 | ±20°鏡反射面 | ±20°鏡反射面 |
| 最小可測厚度 | 47μm | 23μm | 10μm |
| 線性精度 | ±0.35μm | ±0.18μm | ±0.08μm |
| 解析度 | 4nm | 2nm | 1nm |
| 光斑大小 | 13μm | 13μm | 13μm |
| 環境光照 | 20000lux | 20000lux | 20000lux |
| 外殼防護等級 | IP67 | IP67 | IP67 |
| 溫度漂移特性 | 0.005% of F.S. /℃ | 0.005% of F.S. /℃ | 0.005% of F.S. /℃ |
| 工作溫度 | -20~85℃ | -20~85℃ | -20~85℃ |
| 儲存溫度 | 4~51℃ | 4~51℃ | 4~51℃ |
| 重量 | 26g | 26g | 26g |
H15A12系列
▶ 產品介紹
技術新突破
自主研發推出第一款入光出光獨立的光譜共焦位移感測器、分離通道光纖，比傳統光纖減少50%以上光通路干擾，解決產業數十年來困擾。
最高測試精度達次微米級，面對透明薄膜最薄可測8μm。
超高測量精度
業界領先水平，產品解析度可達1nm級別。
自主研發靜態重複精度10nm等級的光譜共焦鏡頭，光斑小至3μm，光路較清晰，超高解析度可精準分離測量超薄膜樣品表面及背面反射光。
高穩定性
自主研發光結構，擁有穩定精密光學系統，不具惡劣環境，穩定測量。
採用高效率且準確的峰值擷取、濾波處理演算法。可準確快速的擷取峰值波長，確保光譜共焦感測器測量精度直線性
▶ 產品特色
- 小體積型
- 防水設計IP65
- 適用粉塵、水氣環境
▶ 產品規格
| 型號 | H15R3A12S40 | H15R1A12S40 | H15R07A12S40 |
|---|---|---|---|
| 外觀尺寸 | 15mm*64.3mm | 15mm*64.3mm | 15mm*64.3mm |
| 基準距離 | 20.5mm | 21.3mm | 21.3mm |
| 測量範圍 | ±1.5mm | ±0.75mm | ±0.375mm |
| 最大可測角度 | ±12°鏡反射面 | ±12°鏡反射面 | ±12°鏡反射面 |
| 最小可測厚度 | 100μm | 50μm | 25μm |
| 線性精度 | ±0.75μm | ±0.38μm | ±0.18mm |
| 解析度 | 6nm | 3nm | 2nm |
| 光斑大小 | 40μm | 40μm | 40μm |
| 環境光照 | 20000lux | 20000lux | 20000lux |
| 外殼防護等級 | IP67 | IP67 | IP67 |
| 溫度漂移特性 | 0.005% of F.S. /℃ | 0.005% of F.S. /℃ | 0.005% of F.S. /℃ |
| 工作溫度 | -20~85℃ | -20~85℃ | -20~85℃ |
| 儲存溫度 | 4~51℃ | 4~51℃ | 4~51℃ |
| 重量 | 18g | 18g | 18g |
H15A32系列
▶ 產品介紹
技術新突破
自主研發推出第一款入光出光獨立的光譜共焦位移感測器、分離通道光纖，比傳統光纖減少50%以上光通路干擾，解決產業數十年來困擾。
最高測試精度達次微米級，面對透明薄膜最薄可測8μm。
超高測量精度
業界領先水平，產品解析度可達1nm級別。
自主研發靜態重複精度10nm等級的光譜共焦鏡頭，光斑小至3μm，光路較清晰，超高解析度可精準分離測量超薄膜樣品表面及背面反射光。
高穩定性
自主研發光結構，擁有穩定精密光學系統，不具惡劣環境，穩定測量。
採用高效率且準確的峰值擷取、濾波處理演算法。可準確快速的擷取峰值波長，確保光譜共焦感測器測量精度直線性
▶ 產品特色
- 超小光斑型
- 更高精度與解析度
- 適用刀刃等精度要求的場景
▶ 產品規格
| 型號 | H15R06A32S3 | H15R03A32S3 | H15R01A32S3 |
|---|---|---|---|
| 外觀尺寸 | 15mm*140.5mm | 15mm*140.5mm | 15mm*140.5mm |
| 基準距離 | 6.0mm | 6.2mm | 6.2mm |
| 測量範圍 | ±0.32mm | ±0.16mm | ±0.08mm |
| 最大可測角度 | ±32°鏡反射面 | ±32°鏡反射面 | ±32°鏡反射面 |
| 最小可測厚度 | 22μm | 11μm | 6μm |
| 線性精度 | ±0.06μm | ±0.08μm | ±0.04mm |
| 解析度 | 2nm | 1nm | 1nm |
| 光斑大小 | 3.5μm | 3.5μm | 3.5μm |
| 環境光照 | 20000lux | 20000lux | 20000lux |
| 外殼防護等級 | IP67 | IP67 | IP67 |
| 溫度漂移特性 | 0.005% of F.S. /℃ | 0.005% of F.S. /℃ | 0.005% of F.S. /℃ |
| 工作溫度 | -20~85℃ | -20~85℃ | -20~85℃ |
| 儲存溫度 | 4~51℃ | 4~51℃ | 4~51℃ |
| 重量 | 26g | 26g | 26g |
