光譜共焦位移感測器
H40A17系列
▶ 產品介紹
技術新突破
自主研發推出第一款入光出光獨立的光譜共焦位移感測器、分離通道光纖，比傳統光纖減少50%以上光通路干擾，解決產業數十年來困擾。
最高測試精度達次微米級，面對透明薄膜最薄可測8μm。
超高測量精度
業界領先水平，產品解析度可達1nm級別。
自主研發靜態重複精度10nm等級的光譜共焦鏡頭，光斑小至3μm，光路較清晰，超高解析度可精準分離測量超薄膜樣品表面及背面反射光。
高穩定性
自主研發光結構，擁有穩定精密光學系統，不具惡劣環境，穩定測量。
採用高效率且準確的峰值擷取、濾波處理演算法。可準確快速的擷取峰值波長，確保光譜共焦感測器測量精度直線性
▶ 產品特色
- 通用型
- 量程、精度適中
- 適用長度尺寸有要求的場景
▶ 命名規則
| H40 | R6 | A17 | S20 |
|---|---|---|---|
| 產品直徑(mm) | 測量量程(mm) | 最大測量角度 | 光斑大小(μm) |
▶ 產品規格
| 型號 | H40R6A17S20 | H40R3A17S20 | H40R1A17S20 |
|---|---|---|---|
| 外觀尺寸 | 40mm*116mm | 40mm*116mm | 40mm*116mm |
| 基準距離 | 45mm | 46.5mm | 46.5mm |
| 測量範圍 | ±3.0mm | ±1.5mm | ±0.75mm |
| 最大可測角度 | ±17°鏡反射面 | ±17°鏡反射面 | ±17°鏡反射面 |
| 最小可測厚度 | 200μm | 100μm | 50μm |
| 線性精度 | ±3μm | ±1.5μm | ±0.8mm |
| 解析度 | 12nm | 6nm | 3nm |
| 光斑大小 | 20μm | 20μm | 20μm |
| 環境光照 | 20000lux | 20000lux | 20000lux |
| 外殼防護等級 | IP67 | IP67 | IP67 |
| 溫度漂移特性 | 0.005% of F.S. /℃ | 0.005% of F.S. /℃ | 0.005% of F.S. /℃ |
| 工作溫度 | -20~85℃ | -20~85℃ | -20~85℃ |
| 儲存溫度 | 4~51℃ | 4~51℃ | 4~51℃ |
| 重量 | 182g | 182g | 182g |
H40A18XL系列
▶ 產品介紹
技術新突破
自主研發推出第一款入光出光獨立的光譜共焦位移感測器、分離通道光纖，比傳統光纖減少50%以上光通路干擾，解決產業數十年來困擾。
最高測試精度達次微米級，面對透明薄膜最薄可測8μm。
超高測量精度
業界領先水平，產品解析度可達1nm級別。
自主研發靜態重複精度10nm等級的光譜共焦鏡頭，光斑小至3μm，光路較清晰，超高解析度可精準分離測量超薄膜樣品表面及背面反射光。
高穩定性
自主研發光結構，擁有穩定精密光學系統，不具惡劣環境，穩定測量。
採用高效率且準確的峰值擷取、濾波處理演算法。可準確快速的擷取峰值波長，確保光譜共焦感測器測量精度直線性
▶ 產品特色
- 高光強型
- 更高光強透過率
- 適用高吸光率材質測量場景
▶ 產品規格
| 型號 | H40R12A18S50XL | H40R6A18S50XL | H40R3A18S50XL |
|---|---|---|---|
| 外觀尺寸 | 27mm*76.7mm | 27mm*76.7mm | 27mm*76.7mm |
| 基準距離 | 12mm | 6mm | 6mm |
| 測量範圍 | ±6mm | ±3mm | ±1.5mm |
| 最大可測角度 | ±17°鏡反射面 | ±17°鏡反射面 | ±17°鏡反射面 |
| 最小可測厚度 | 399μm | 199μm | 990μm |
| 線性精度 | ±3μm | ±1.5μm | ±0.75mm |
| 解析度 | 12nm | 6nm | 3nm |
| 光斑大小 | 60μm | 60μm | 60μm |
| 環境光照 | 20000lux | 20000lux | 20000lux |
| 外殼防護等級 | IP67 | IP67 | IP67 |
| 溫度漂移特性 | 0.005% of F.S. /℃ | 0.005% of F.S. /℃ | 0.005% of F.S. /℃ |
| 工作溫度 | -20~85℃ | -20~85℃ | -20~85℃ |
| 儲存溫度 | 4~51℃ | 4~51℃ | 4~51℃ |
H40A19系列
▶ 產品介紹
技術新突破
自主研發推出第一款入光出光獨立的光譜共焦位移感測器、分離通道光纖，比傳統光纖減少50%以上光通路干擾，解決產業數十年來困擾。
最高測試精度達次微米級，面對透明薄膜最薄可測8μm。
超高測量精度
業界領先水平，產品解析度可達1nm級別。
自主研發靜態重複精度10nm等級的光譜共焦鏡頭，光斑小至3μm，光路較清晰，超高解析度可精準分離測量超薄膜樣品表面及背面反射光。
高穩定性
自主研發光結構，擁有穩定精密光學系統，不具惡劣環境，穩定測量。
採用高效率且準確的峰值擷取、濾波處理演算法。可準確快速的擷取峰值波長，確保光譜共焦感測器測量精度直線性
▶ 產品特色
- 高精度型
- 角度性能適中
- 適用於大多安裝場景
▶ 產品規格
| 型號 | H40R8A19S16 | H40R4A19S16 | H40R2A19S16 |
|---|---|---|---|
| 外觀尺寸 | 40mm*174.8mm | 40mm*174.8mm | 40mm*174.8mm |
| 基準距離 | 42mm | 44mm | 44mm |
| 測量範圍 | ±4mm | ±2mm | ±1mm |
| 最大可測角度 | ±19°鏡反射面 | ±19°鏡反射面 | ±19°鏡反射面 |
| 最小可測厚度 | 266μm | 133μm | 66μm |
| 線性精度 | ±2μm | ±1μm | ±0.5mm |
| 解析度 | 16nm | 8nm | 4nm |
| 光斑大小 | 16μm | 16μm | 16μm |
| 環境光照 | 20000lux | 20000lux | 20000lux |
| 外殼防護等級 | IP67 | IP67 | IP67 |
| 溫度漂移特性 | 0.005% of F.S. /℃ | 0.005% of F.S. /℃ | 0.005% of F.S. /℃ |
| 工作溫度 | -20~85℃ | -20~85℃ | -20~85℃ |
| 儲存溫度 | 4~51℃ | 4~51℃ | 4~51℃ |
| 重量 | 161g | 161g | 161g |
