光譜共焦位移感測器
H40A36系列
▶ 產品介紹
技術新突破
自主研發推出第一款入光出光獨立的光譜共焦位移感測器、分離通道光纖，比傳統光纖減少50%以上光通路干擾，解決產業數十年來困擾。
最高測試精度達次微米級，面對透明薄膜最薄可測8μm。
超高測量精度
業界領先水平，產品解析度可達1nm級別。
自主研發靜態重複精度10nm等級的光譜共焦鏡頭，光斑小至3μm，光路較清晰，超高解析度可精準分離測量超薄膜樣品表面及背面反射光。
高穩定性
自主研發光結構，擁有穩定精密光學系統，不具惡劣環境，穩定測量。
採用高效率且準確的峰值擷取、濾波處理演算法。可準確快速的擷取峰值波長，確保光譜共焦感測器測量精度直線性
▶ 產品特色
- 小光斑型
- 輪廓掃描更清晰
- 適用更多測量場景
▶ 命名規則
| H40 | R2 | A36 | S10 |
|---|---|---|---|
| 產品直徑(mm) | 測量量程(mm) | 最大測量角度 | 光斑大小(μm) |
▶ 產品規格
| 型號 | H40R2A36S10 | H40R1A36S10 | H40R1A36S10 |
|---|---|---|---|
| 外觀尺寸 | H40R1A36S10 | H40R1A36S10 | H40R1A36S10 |
| 基準距離 | 15.8mm | 16.43mm | 16.43mm |
| 測量範圍 | ±1.26mm | ±0.63mm | ±0.315mm |
| 最大可測角度 | ±36°鏡反射面 | ±36°鏡反射面 | ±36°鏡反射面 |
| 最小可測厚度 | 85μm | 42μm | 21μm |
| 線性精度 | ±0.64μm | ±0.32μm | ±0.16mm |
| 解析度 | 6nm | 3nm | 2nm |
| 光斑大小 | 10μm | 10μm | 10μm |
| 環境光照 | 20000lux | 20000lux | 20000lux |
| 外殼防護等級 | IP67 | IP67 | IP67 |
| 溫度漂移特性 | 0.005% of F.S. /℃ | 0.005% of F.S. /℃ | 0.005% of F.S. /℃ |
| 工作溫度 | -20~85℃ | -20~85℃ | -20~85℃ |
| 儲存溫度 | 4~51℃ | 4~51℃ | 4~51℃ |
| 重量 | 300g | 300g | 300g |
H40A48系列
▶ 產品介紹
技術新突破
自主研發推出第一款入光出光獨立的光譜共焦位移感測器、分離通道光纖，比傳統光纖減少50%以上光通路干擾，解決產業數十年來困擾。
最高測試精度達次微米級，面對透明薄膜最薄可測8μm。
超高測量精度
業界領先水平，產品解析度可達1nm級別。
自主研發靜態重複精度10nm等級的光譜共焦鏡頭，光斑小至3μm，光路較清晰，超高解析度可精準分離測量超薄膜樣品表面及背面反射光。
高穩定性
自主研發光結構，擁有穩定精密光學系統，不具惡劣環境，穩定測量。
採用高效率且準確的峰值擷取、濾波處理演算法。可準確快速的擷取峰值波長，確保光譜共焦感測器測量精度直線性
▶ 產品特色
- 大角度型
- 小光斑、高精度
- 適用圓弧面大角度測量場景
▶ 產品規格
| 型號 | H40R1A48S8 | H40R07A48S8 | H40R03A48S8 |
|---|---|---|---|
| 外觀尺寸 | 40mm*222.8mm | 40mm*222.8mm | 40mm*222.8mm |
| 基準距離 | 8.8mm | 9.2mm | 9.2mm |
| 測量範圍 | ±0.7mm | ±0.3mm | ±0.15mm |
| 最大可測角度 | ±48°鏡反射面 | ±48°鏡反射面 | ±48°鏡反射面 |
| 最小可測厚度 | 47μm | 24μm | 10μm |
| 線性精度 | ±0.35μm | ±0.18μm | ±0.08mm |
| 解析度 | 4nm | 2nm | 1nm |
| 光斑大小 | 8μm | 8μm | 8μm |
| 環境光照 | 20000lux | 20000lux | 20000lux |
| 外殼防護等級 | IP67 | IP67 | IP67 |
| 溫度漂移特性 | 0.005% of F.S. /℃ | 0.005% of F.S. /℃ | 0.005% of F.S. /℃ |
| 工作溫度 | -20~85℃ | -20~85℃ | -20~85℃ |
| 儲存溫度 | 4~51℃ | 4~51℃ | 4~51℃ |
| 重量 | 320g | 320g | 320g |
