光譜共焦位移感測器
H8A15系列
技術新突破
自主研發推出第一款入光出光獨立的光譜共焦位移感測器、分離通道光纖，比傳統光纖減少50%以上光通路干擾，解決產業數十年來困擾。
最高測試精度達次微米級，面對透明薄膜最薄可測8μm。
超高測量精度
業界領先水平，產品解析度可達1nm級別。
自主研發靜態重複精度10nm等級的光譜共焦鏡頭，光斑小至3μm，光路較清晰，超高解析度可精準分離測量超薄膜樣品表面及背面反射光。
高穩定性
自主研發光結構，擁有穩定精密光學系統，不具惡劣環境，穩定測量。
採用高效率且準確的峰值擷取、濾波處理演算法。可準確快速的擷取峰值波長，確保光譜共焦感測器測量精度直線性
- 超小體積型
- 工作距離與量程適中
- 適用多點並排檢測
| H8 | R4 | A15 | S30 |
|---|---|---|---|
| 產品直徑(mm) | 測量量程(mm) | 最大測量角度 | 光斑大小(μm) |
| 型號 | H8R4A15S30 | H8R2A15S30 | H8R1A15S30 |
|---|---|---|---|
| 外觀尺寸 | 8mm*41.9mm | 8mm*41.9mm | 8mm*41.9mm |
| 基準距離 | 11.1mm | 12.1mm | 12.1mm |
| 測量範圍 | ±2.12mm | ±1.06mm | ±0.53mm |
| 最大可測角度 | ±15°鏡反射面 | ±15°鏡反射面 | ±15°鏡反射面 |
| 最小可測厚度 | 138μm | 69μm | 34μm |
| 線性精度 | ±1μm | ±0.5μm | ±0.26mm |
| 解析度 | 10nm | 5nm | 5nm |
| 光斑大小 | 30μm | 30μm | 30μm |
| 環境光照 | 20000lux | 20000lux | 20000lux |
| 外殼防護等級 | IP67 | IP67 | IP67 |
| 溫度漂移特性 | 0.005% of F.S. /℃ | 0.005% of F.S. /℃ | 0.005% of F.S. /℃ |
| 工作溫度 | -20~85℃ | -20~85℃ | -20~85℃ |
| 儲存溫度 | 4~51℃ | 4~51℃ | 4~51℃ |
H8A18系列
技術新突破
自主研發推出第一款入光出光獨立的光譜共焦位移感測器、分離通道光纖，比傳統光纖減少50%以上光通路干擾，解決產業數十年來困擾。
最高測試精度達次微米級，面對透明薄膜最薄可測8μm。
超高測量精度
業界領先水平，產品解析度可達1nm級別。
自主研發靜態重複精度10nm等級的光譜共焦鏡頭，光斑小至3μm，光路較清晰，超高解析度可精準分離測量超薄膜樣品表面及背面反射光。
高穩定性
自主研發光結構，擁有穩定精密光學系統，不具惡劣環境，穩定測量。
採用高效率且準確的峰值擷取、濾波處理演算法。可準確快速的擷取峰值波長，確保光譜共焦感測器測量精度直線性
- 高精度
- 小巧、經濟
- 適用平面多點檢測
| 型號 | H8R1A18S17 | H8R06A18S17 | H8R03A18S17 |
|---|---|---|---|
| 外觀尺寸 | 8mm*55.8mm | 8mm*55.8mm | 8mm*55.8mm |
| 基準距離 | 8mm | 8.3mm | 8.3mm |
| 測量範圍 | ±0.625mm | ±0.325mm | ±0.165mm |
| 最大可測角度 | ±18°鏡反射面 | ±18°鏡反射面 | ±18°鏡反射面 |
| 最小可測厚度 | 43μm | 21μm | 11μm |
| 線性精度 | ±0.32μm | ±0.16μm | ±0.08mm |
| 解析度 | 4nm | 2nm | 1nm |
| 光斑大小 | 17μm | 17μm | 17μm |
| 環境光照 | 20000lux | 20000lux | 20000lux |
| 外殼防護等級 | IP67 | IP67 | IP67 |
| 溫度漂移特性 | 0.005% of F.S. /℃ | 0.005% of F.S. /℃ | 0.005% of F.S. /℃ |
| 工作溫度 | -20~85℃ | -20~85℃ | -20~85℃ |
| 儲存溫度 | 4~51℃ | 4~51℃ | 4~51℃ |
| 重量 | 8g | 8g | 8g |
H8A29系列
技術新突破
自主研發推出第一款入光出光獨立的光譜共焦位移感測器、分離通道光纖，比傳統光纖減少50%以上光通路干擾，解決產業數十年來困擾。
最高測試精度達次微米級，面對透明薄膜最薄可測8μm。
超高測量精度
業界領先水平，產品解析度可達1nm級別。
自主研發靜態重複精度10nm等級的光譜共焦鏡頭，光斑小至3μm，光路較清晰，超高解析度可精準分離測量超薄膜樣品表面及背面反射光。
高穩定性
自主研發光結構，擁有穩定精密光學系統，不具惡劣環境，穩定測量。
採用高效率且準確的峰值擷取、濾波處理演算法。可準確快速的擷取峰值波長，確保光譜共焦感測器測量精度直線性
- 超小體積型
- 測量角度更大
- 滿足大多安裝場景
| 型號 | H8R08A29S11 | H8R04A29S11 | H8R02A29S11 |
|---|---|---|---|
| 外觀尺寸 | 8mm*59.6mm | 8mm*59.6mm | 8mm*59.6mm |
| 基準距離 | 4mm | 4.2mm | 4.2mm |
| 測量範圍 | ±0.4mm | ±0.2mm | ±0.1mm |
| 最大可測角度 | ±29°鏡反射面 | ±29°鏡反射面 | ±29°鏡反射面 |
| 最小可測厚度 | 27μm | 13μm | 7μm |
| 線性精度 | ±0.2μm | ±0.1μm | ±0.05mm |
| 解析度 | 10nm | 5nm | 2nm |
| 光斑大小 | 11μm | 11μm | 11μm |
| 環境光照 | 20000lux | 20000lux | 20000lux |
| 外殼防護等級 | IP67 | IP67 | IP67 |
| 溫度漂移特性 | 0.005% of F.S. /℃ | 0.005% of F.S. /℃ | 0.005% of F.S. /℃ |
| 工作溫度 | -20~85℃ | -20~85℃ | -20~85℃ |
| 儲存溫度 | 4~51℃ | 4~51℃ | 4~51℃ |
| 重量 | 18g | 18g | 18g |
