光譜共焦位移感測器
H27A24系列
▶ 產品介紹
技術新突破
自主研發推出第一款入光出光獨立的光譜共焦位移感測器、分離通道光纖，比傳統光纖減少50%以上光通路干擾，解決產業數十年來困擾。
最高測試精度達次微米級，面對透明薄膜最薄可測8μm。
超高測量精度
業界領先水平，產品解析度可達1nm級別。
自主研發靜態重複精度10nm等級的光譜共焦鏡頭，光斑小至3μm，光路較清晰，超高解析度可精準分離測量超薄膜樣品表面及背面反射光。
高穩定性
自主研發光結構，擁有穩定精密光學系統，不具惡劣環境，穩定測量。
採用高效率且準確的峰值擷取、濾波處理演算法。可準確快速的擷取峰值波長，確保光譜共焦感測器測量精度直線性
▶ 產品特色
- 長距離型
- 適中尺寸
- 適用表面檢測場景
▶ 命名規則
| H27 | R4 | A24 | S25 |
|---|---|---|---|
| 產品直徑(mm) | 測量量程(mm) | 最大測量角度 | 光斑大小(μm) |
▶ 產品規格
| 型號 | H27R4A24S25 | H27R2A24S25 | H27R1A24S25 |
|---|---|---|---|
| 外觀尺寸 | 27mm*110.7mm | 27mm*110.7mm | 27mm*110.7mm |
| 基準距離 | 22.3mm | 23.4mm | 23.4mm |
| 測量範圍 | ±2.2mm | ±1.1mm | ±0.55mm |
| 最大可測角度 | ±24°鏡反射面 | ±24°鏡反射面 | ±24°鏡反射面 |
| 最小可測厚度 | 14μm | 8μm | 3.5μm |
| 線性精度 | ±1.1μm | ±0.55μm | ±0.23mm |
| 解析度 | 10nm | 5nm | 3nm |
| 光斑大小 | 23μm | 23μm | 23μm |
| 環境光照 | 20000lux | 20000lux | 20000lux |
| 外殼防護等級 | IP67 | IP67 | IP67 |
| 溫度漂移特性 | 0.005% of F.S. /℃ | 0.005% of F.S. /℃ | 0.005% of F.S. /℃ |
| 工作溫度 | -20~85℃ | -20~85℃ | -20~85℃ |
| 儲存溫度 | 4~51℃ | 4~51℃ | 4~51℃ |
H27A29系列
▶ 產品介紹
技術新突破
自主研發推出第一款入光出光獨立的光譜共焦位移感測器、分離通道光纖，比傳統光纖減少50%以上光通路干擾，解決產業數十年來困擾。
最高測試精度達次微米級，面對透明薄膜最薄可測8μm。
超高測量精度
業界領先水平，產品解析度可達1nm級別。
自主研發靜態重複精度10nm等級的光譜共焦鏡頭，光斑小至3μm，光路較清晰，超高解析度可精準分離測量超薄膜樣品表面及背面反射光。
高穩定性
自主研發光結構，擁有穩定精密光學系統，不具惡劣環境，穩定測量。
採用高效率且準確的峰值擷取、濾波處理演算法。可準確快速的擷取峰值波長，確保光譜共焦感測器測量精度直線性
▶ 產品特色
- 超高解析度型
- 擁有高精度測量
- 適用解析度與精度極高場景
▶ 產品規格
| 型號 | H27R012A29S7 | H27R006A29S7 | H27R003A29S7 |
|---|---|---|---|
| 外觀尺寸 | 27mm*151mm | 27mm*151mm | 27mm*151mm |
| 基準距離 | 5.0mm | 5.03mm | 5.03mm |
| 測量範圍 | ±0.6mm | ±0.03mm | ±0.015mm |
| 最大可測角度 | ±29°鏡反射面 | ±29°鏡反射面 | ±29°鏡反射面 |
| 最小可測厚度 | 10μm | 5μm | 3μm |
| 線性精度 | ±0.03μm | ±0.02μm | ±0.01mm |
| 解析度 | 2nm | 1nm | 1nm |
| 光斑大小 | 7μm | 7μm | 7μm |
| 環境光照 | 20000lux | 20000lux | 20000lux |
| 外殼防護等級 | IP67 | IP67 | IP67 |
| 溫度漂移特性 | 0.005% of F.S. /℃ | 0.005% of F.S. /℃ | 0.005% of F.S. /℃ |
| 工作溫度 | -20~85℃ | -20~85℃ | -20~85℃ |
| 儲存溫度 | 4~51℃ | 4~51℃ | 4~51℃ |
| 重量 | 141g | 141g | 141g |
H27A45系列
▶ 產品介紹
技術新突破
自主研發推出第一款入光出光獨立的光譜共焦位移感測器、分離通道光纖，比傳統光纖減少50%以上光通路干擾，解決產業數十年來困擾。
最高測試精度達次微米級，面對透明薄膜最薄可測8μm。
超高測量精度
業界領先水平，產品解析度可達1nm級別。
自主研發靜態重複精度10nm等級的光譜共焦鏡頭，光斑小至3μm，光路較清晰，超高解析度可精準分離測量超薄膜樣品表面及背面反射光。
高穩定性
自主研發光結構，擁有穩定精密光學系統，不具惡劣環境，穩定測量。
採用高效率且準確的峰值擷取、濾波處理演算法。可準確快速的擷取峰值波長，確保光譜共焦感測器測量精度直線性
▶ 產品特色
- 高精度型
- 測量範圍小、精度高
- 適用於薄膜等高精度場景
▶ 產品規格
| 型號 | H27R06A45SXL | H27R03A45SXL | H27R01A45SXL |
|---|---|---|---|
| 外觀尺寸 | 27mm*102.3mm | 27mm*102.3mm | 27mm*102.3mm |
| 基準距離 | 7mm | 7.9mm | 7.9mm |
| 測量範圍 | ±0.3mm | ±0.15mm | ±0.075mm |
| 最大可測角度 | ±45°鏡反射面 | ±45°鏡反射面 | ±45°鏡反射面 |
| 最小可測厚度 | 20μm | 10μm | 5μm |
| 線性精度 | ±0.15μm | ±0.07μm | ±0.03mm |
| 解析度 | 1.6nm | 0.8nm | 0.4nm |
| 光斑大小 | 25μm | 25μm | 25μm |
| 環境光照 | 20000lux | 20000lux | 20000lux |
| 外殼防護等級 | IP67 | IP67 | IP67 |
| 溫度漂移特性 | 0.005% of F.S. /℃ | 0.005% of F.S. /℃ | 0.005% of F.S. /℃ |
| 工作溫度 | -20~85℃ | -20~85℃ | -20~85℃ |
| 儲存溫度 | 4~51℃ | 4~51℃ | 4~51℃ |
