光譜共焦位移感測器
H27A9系列
▶ 產品介紹
技術新突破
自主研發推出第一款入光出光獨立的光譜共焦位移感測器、分離通道光纖，比傳統光纖減少50%以上光通路干擾，解決產業數十年來困擾。
最高測試精度達次微米級，面對透明薄膜最薄可測8μm。
超高測量精度
業界領先水平，產品解析度可達1nm級別。
自主研發靜態重複精度10nm等級的光譜共焦鏡頭，光斑小至3μm，光路較清晰，超高解析度可精準分離測量超薄膜樣品表面及背面反射光。
高穩定性
自主研發光結構，擁有穩定精密光學系統，不具惡劣環境，穩定測量。
採用高效率且準確的峰值擷取、濾波處理演算法。可準確快速的擷取峰值波長，確保光譜共焦感測器測量精度直線性
▶ 產品特色
- 低成本型
- 性能高於雷射測量
- 適用一般精度測量場景
▶ 命名規則
| H27 | R6 | A9 | S60 |
|---|---|---|---|
| 產品直徑(mm) | 測量量程(mm) | 最大測量角度 | 光斑大小(μm) |
▶ 產品規格
| 型號 | H27R6A9S60 | H27R3A9S60 | H27R1A9S60 |
|---|---|---|---|
| 外觀尺寸 | 27mm*93.3mm | 27mm*93.3mm | 27mm*93.3mm |
| 基準距離 | 62mm | 63.5mm | 63.5mm |
| 測量範圍 | ±3.0mm | ±1.5mm | ±0.73mm |
| 最大可測角度 | ±9°鏡反射面 | ±9°鏡反射面 | ±9°鏡反射面 |
| 最小可測厚度 | 200μm | 100μm | 50μm |
| 線性精度 | ±1.5μm | ±0.75μm | ±0.38mm |
| 解析度 | 40nm | 20nm | 15nm |
| 光斑大小 | 60μm | 60μm | 60μm |
| 環境光照 | 20000lux | 20000lux | 20000lux |
| 外殼防護等級 | IP67 | IP67 | IP67 |
| 溫度漂移特性 | 0.005% of F.S. /℃ | 0.005% of F.S. /℃ | 0.005% of F.S. /℃ |
| 工作溫度 | -20~85℃ | -20~85℃ | -20~85℃ |
| 儲存溫度 | 4~51℃ | 4~51℃ | 4~51℃ |
| 重量 | 104g | 104g | 104g |
H27A17系列
▶ 產品介紹
技術新突破
自主研發推出第一款入光出光獨立的光譜共焦位移感測器、分離通道光纖，比傳統光纖減少50%以上光通路干擾，解決產業數十年來困擾。
最高測試精度達次微米級，面對透明薄膜最薄可測8μm。
超高測量精度
業界領先水平，產品解析度可達1nm級別。
自主研發靜態重複精度10nm等級的光譜共焦鏡頭，光斑小至3μm，光路較清晰，超高解析度可精準分離測量超薄膜樣品表面及背面反射光。
高穩定性
自主研發光結構，擁有穩定精密光學系統，不具惡劣環境，穩定測量。
採用高效率且準確的峰值擷取、濾波處理演算法。可準確快速的擷取峰值波長，確保光譜共焦感測器測量精度直線性
▶ 產品特色
- 長距離型
- 測量距離適中
- 適用大多數安裝場景
▶ 產品規格
| 型號 | H27R4A17S60 | H27R2A17S60 | H27R1A17S60 |
|---|---|---|---|
| 外觀尺寸 | 27mm*76.7mm | 27mm*76.7mm | 27mm*76.7mm |
| 基準距離 | 35.4mm | 36.4mm | 36.4mm |
| 測量範圍 | ±2.1mm | ±1.05mm | ±0.5mm |
| 最大可測角度 | ±17°鏡反射面 | ±17°鏡反射面 | ±17°鏡反射面 |
| 最小可測厚度 | 140μm | 70μm | 36μm |
| 線性精度 | ±2.1μm | ±1.1μm | ±0.5mm |
| 解析度 | 12nm | 6nm | 3nm |
| 光斑大小 | 60μm | 60μm | 60μm |
| 環境光照 | 20000lux | 20000lux | 20000lux |
| 外殼防護等級 | IP67 | IP67 | IP67 |
| 溫度漂移特性 | 0.005% of F.S. /℃ | 0.005% of F.S. /℃ | 0.005% of F.S. /℃ |
| 工作溫度 | -20~85℃ | -20~85℃ | -20~85℃ |
| 儲存溫度 | 4~51℃ | 4~51℃ | 4~51℃ |
H27A20系列
▶ 產品介紹
技術新突破
自主研發推出第一款入光出光獨立的光譜共焦位移感測器、分離通道光纖，比傳統光纖減少50%以上光通路干擾，解決產業數十年來困擾。
最高測試精度達次微米級，面對透明薄膜最薄可測8μm。
超高測量精度
業界領先水平，產品解析度可達1nm級別。
自主研發靜態重複精度10nm等級的光譜共焦鏡頭，光斑小至3μm，光路較清晰，超高解析度可精準分離測量超薄膜樣品表面及背面反射光。
高穩定性
自主研發光結構，擁有穩定精密光學系統，不具惡劣環境，穩定測量。
採用高效率且準確的峰值擷取、濾波處理演算法。可準確快速的擷取峰值波長，確保光譜共焦感測器測量精度直線性
▶ 產品特色
- 綜合型
- 各性能參數均衡
- 適用於大多安裝場景
▶ 產品規格
| 型號 | H27R2A20S13 | H27R1A20S13 | H27R06A20S13 |
|---|---|---|---|
| 外觀尺寸 | 27mm*161.1mm | 27mm*161.1mm | 27mm*161.1mm |
| 基準距離 | 24.2mm | 24.8mm | 24.8mm |
| 測量範圍 | ±1.2mm | ±0.6mm | ±0.3mm |
| 最大可測角度 | ±20°鏡反射面 | ±20°鏡反射面 | ±20°鏡反射面 |
| 最小可測厚度 | 83μm | 42μm | 20μm |
| 線性精度 | ±0.62μm | ±0.3μm | ±0.15mm |
| 解析度 | 6nm | 3nm | 2nm |
| 光斑大小 | 13μm | 13μm | 13μm |
| 環境光照 | 20000lux | 20000lux | 20000lux |
| 外殼防護等級 | IP67 | IP67 | IP67 |
| 溫度漂移特性 | 0.005% of F.S. /℃ | 0.005% of F.S. /℃ | 0.005% of F.S. /℃ |
| 工作溫度 | -20~85℃ | -20~85℃ | -20~85℃ |
| 儲存溫度 | 4~51℃ | 4~51℃ | 4~51℃ |
| 重量 | 132g | 132g | 132g |
