光譜共焦位移感測器
H35A7系列
▶ 產品介紹
技術新突破
自主研發推出第一款入光出光獨立的光譜共焦位移感測器、分離通道光纖，比傳統光纖減少50%以上光通路干擾，解決產業數十年來困擾。
最高測試精度達次微米級，面對透明薄膜最薄可測8μm。
超高測量精度
業界領先水平，產品解析度可達1nm級別。
自主研發靜態重複精度10nm等級的光譜共焦鏡頭，光斑小至3μm，光路較清晰，超高解析度可精準分離測量超薄膜樣品表面及背面反射光。
高穩定性
自主研發光結構，擁有穩定精密光學系統，不具惡劣環境，穩定測量。
採用高效率且準確的峰值擷取、濾波處理演算法。可準確快速的擷取峰值波長，確保光譜共焦感測器測量精度直線性
▶ 產品特色
- 超長量程型
- 兼顧小孔內壁測量
- 適用高度差較大測量場景
▶ 命名規則
| H35 | R16 | A7 | S24 |
|---|---|---|---|
| 產品直徑(mm) | 測量量程(mm) | 最大測量角度 | 光斑大小(μm) |
▶ 產品規格
| 型號 | H35R16A7S35 | H35R8A7S35 | H35R4A7S35 |
|---|---|---|---|
| 外觀尺寸 | 35mm*142.4mm | 35mm*142.4mm | 35mm*142.4mm |
| 基準距離 | 105.8mm | 110mm | 110mm |
| 測量範圍 | ±8.4mm | ±4.2mm | ±2.1mm |
| 最大可測角度 | ±7°鏡反射面 | ±7°鏡反射面 | ±7°鏡反射面 |
| 最小可測厚度 | 560μm | 280μm | 140μm |
| 線性精度 | ±4.2μm | ±2.1μm | ±1.05mm |
| 解析度 | 200nm | 100nm | 50nm |
| 光斑大小 | 35μm | 35μm | 35μm |
| 環境光照 | 20000lux | 20000lux | 20000lux |
| 外殼防護等級 | IP67 | IP67 | IP67 |
| 溫度漂移特性 | 0.005% of F.S. /℃ | 0.005% of F.S. /℃ | 0.005% of F.S. /℃ |
| 工作溫度 | -20~85℃ | -20~85℃ | -20~85℃ |
| 儲存溫度 | 4~51℃ | 4~51℃ | 4~51℃ |
| 重量 | 300g | 300g | 300g |
H35A18系列
▶ 產品介紹
技術新突破
自主研發推出第一款入光出光獨立的光譜共焦位移感測器、分離通道光纖，比傳統光纖減少50%以上光通路干擾，解決產業數十年來困擾。
最高測試精度達次微米級，面對透明薄膜最薄可測8μm。
超高測量精度
業界領先水平，產品解析度可達1nm級別。
自主研發靜態重複精度10nm等級的光譜共焦鏡頭，光斑小至3μm，光路較清晰，超高解析度可精準分離測量超薄膜樣品表面及背面反射光。
高穩定性
自主研發光結構，擁有穩定精密光學系統，不具惡劣環境，穩定測量。
採用高效率且準確的峰值擷取、濾波處理演算法。可準確快速的擷取峰值波長，確保光譜共焦感測器測量精度直線性
▶ 產品特色
- 性價比型
- 各性能參數較為平均
- 適用低反射材料等測量場景
▶ 產品規格
| 型號 | H35R8A18S25 | H35R4A18S25 | H35R2A18S25 |
|---|---|---|---|
| 外觀尺寸 | 35mm*181.2mm | 35mm*181.2mm | 35mm*181.2mm |
| 基準距離 | 33mm | 35mm | 35mm |
| 測量範圍 | ±4mm | ±2mm | ±1mm |
| 最大可測角度 | ±18°鏡反射面 | ±18°鏡反射面 | ±18°鏡反射面 |
| 最小可測厚度 | 267μm | 133μm | 67μm |
| 線性精度 | ±2μm | ±1μm | ±05mm |
| 解析度 | 40nm | 20nm | 10nm |
| 光斑大小 | 25μm | 25μm | 25μm |
| 環境光照 | 20000lux | 20000lux | 20000lux |
| 外殼防護等級 | IP67 | IP67 | IP67 |
| 溫度漂移特性 | 0.005% of F.S. /℃ | 0.005% of F.S. /℃ | 0.005% of F.S. /℃ |
| 工作溫度 | -20~85℃ | -20~85℃ | -20~85℃ |
| 儲存溫度 | 4~51℃ | 4~51℃ | 4~51℃ |
| 重量 | 200g | 200g | 200g |
H35A30系列
▶ 產品介紹
技術新突破
自主研發推出第一款入光出光獨立的光譜共焦位移感測器、分離通道光纖，比傳統光纖減少50%以上光通路干擾，解決產業數十年來困擾。
最高測試精度達次微米級，面對透明薄膜最薄可測8μm。
超高測量精度
業界領先水平，產品解析度可達1nm級別。
自主研發靜態重複精度10nm等級的光譜共焦鏡頭，光斑小至3μm，光路較清晰，超高解析度可精準分離測量超薄膜樣品表面及背面反射光。
高穩定性
自主研發光結構，擁有穩定精密光學系統，不具惡劣環境，穩定測量。
採用高效率且準確的峰值擷取、濾波處理演算法。可準確快速的擷取峰值波長，確保光譜共焦感測器測量精度直線性
▶ 產品特色
- 綜合型
- 各性能參數較為均衡
- 適用於大多安裝場景
▶ 產品規格
| 型號 | H35R4A30S9 | H35R2A30S9 | H35R1A30S9 |
|---|---|---|---|
| 外觀尺寸 | 35mm*115.3mm | 35mm*115.3mm | 35mm*115.3mm |
| 基準距離 | 20.8mm | 21.9mm | 21.9mm |
| 測量範圍 | ±2.2mm | ±1.1mm | ±0.55mm |
| 最大可測角度 | ±30°鏡反射面 | ±30°鏡反射面 | ±30°鏡反射面 |
| 最小可測厚度 | 147μm | 73μm | 36μm |
| 線性精度 | ±1.1μm | ±0.55μm | ±0.27mm |
| 解析度 | 9nm | 5nm | 3nm |
| 光斑大小 | 9μm | 9μm | 9μm |
| 環境光照 | 20000lux | 20000lux | 20000lux |
| 外殼防護等級 | IP67 | IP67 | IP67 |
| 溫度漂移特性 | 0.005% of F.S. /℃ | 0.005% of F.S. /℃ | 0.005% of F.S. /℃ |
| 工作溫度 | -20~85℃ | -20~85℃ | -20~85℃ |
| 儲存溫度 | 4~51℃ | 4~51℃ | 4~51℃ |
| 重量 | 300g | 300g | 300g |
