光譜共焦位移感測器
H40A26XL系列
▶ 產品介紹
技術新突破
自主研發推出第一款入光出光獨立的光譜共焦位移感測器、分離通道光纖，比傳統光纖減少50%以上光通路干擾，解決產業數十年來困擾。
最高測試精度達次微米級，面對透明薄膜最薄可測8μm。
超高測量精度
業界領先水平，產品解析度可達1nm級別。
自主研發靜態重複精度10nm等級的光譜共焦鏡頭，光斑小至3μm，光路較清晰，超高解析度可精準分離測量超薄膜樣品表面及背面反射光。
高穩定性
自主研發光結構，擁有穩定精密光學系統，不具惡劣環境，穩定測量。
採用高效率且準確的峰值擷取、濾波處理演算法。可準確快速的擷取峰值波長，確保光譜共焦感測器測量精度直線性
▶ 產品特色
- 高光強型
- 各性能參數均衡
- 適用大多數應用場景
▶ 命名規則
| H40 | R4 | A26 | S40XL |
|---|---|---|---|
| 產品直徑(mm) | 測量量程(mm) | 最大測量角度 | 光斑大小(μm) |
▶ 產品規格
| 型號 | H40R4A26S40XL | H40R2A26S40XL | H40R1A26S40XL |
|---|---|---|---|
| 外觀尺寸 | 40mm*127.7mm | 40mm*127.7mm | 40mm*127.7mm |
| 基準距離 | 30mm | 31.1mm | 31.1mm |
| 測量範圍 | ±2.6mm | ±1.15mm | ±0.56mm |
| 最大可測角度 | ±26°鏡反射面 | ±26°鏡反射面 | ±26°鏡反射面 |
| 最小可測厚度 | 133μm | 66μm | 33μm |
| 線性精度 | ±1.2μm | ±0.6μm | ±0.3mm |
| 解析度 | 10nm | 5nm | 3nm |
| 光斑大小 | 40μm | 40μm | 40μm |
| 環境光照 | 20000lux | 20000lux | 20000lux |
| 外殼防護等級 | IP67 | IP67 | IP67 |
| 溫度漂移特性 | 0.005% of F.S. /℃ | 0.005% of F.S. /℃ | 0.005% of F.S. /℃ |
| 工作溫度 | -20~85℃ | -20~85℃ | -20~85℃ |
| 儲存溫度 | 4~51℃ | 4~51℃ | 4~51℃ |
| 重量 | 190g | 190g | 190g |
H40A30系列
▶ 產品介紹
技術新突破
自主研發推出第一款入光出光獨立的光譜共焦位移感測器、分離通道光纖，比傳統光纖減少50%以上光通路干擾，解決產業數十年來困擾。
最高測試精度達次微米級，面對透明薄膜最薄可測8μm。
超高測量精度
業界領先水平，產品解析度可達1nm級別。
自主研發靜態重複精度10nm等級的光譜共焦鏡頭，光斑小至3μm，光路較清晰，超高解析度可精準分離測量超薄膜樣品表面及背面反射光。
高穩定性
自主研發光結構，擁有穩定精密光學系統，不具惡劣環境，穩定測量。
採用高效率且準確的峰值擷取、濾波處理演算法。可準確快速的擷取峰值波長，確保光譜共焦感測器測量精度直線性
▶ 產品特色
- 小光斑型
- 精度解析度更高
- 適用於更多形狀測量場景
▶ 產品規格
| 型號 | H40R4A30S11 | H40R2A30S11 | H40R1A30S11 |
|---|---|---|---|
| 外觀尺寸 | 40mm*189.8mm | 40mm*189.8mm | 40mm*189.8mm |
| 基準距離 | 22.3mm | 23.4mm | 23.4mm |
| 測量範圍 | ±2.2mm | ±1.1mm | ±0.55mm |
| 最大可測角度 | ±36°鏡反射面 | ±36°鏡反射面 | ±36°鏡反射面 |
| 最小可測厚度 | 143μm | 73μm | 36μm |
| 線性精度 | ±1μm | ±0.5μm | ±0.2mm |
| 解析度 | 9nm | 5nm | 3nm |
| 光斑大小 | 11μm | 11μm | 11μm |
| 環境光照 | 20000lux | 20000lux | 20000lux |
| 外殼防護等級 | IP67 | IP67 | IP67 |
| 溫度漂移特性 | 0.005% of F.S. /℃ | 0.005% of F.S. /℃ | 0.005% of F.S. /℃ |
| 工作溫度 | -20~85℃ | -20~85℃ | -20~85℃ |
| 儲存溫度 | 4~51℃ | 4~51℃ | 4~51℃ |
| 重量 | 201g | 201g | 201g |
H40A33XL系列
▶ 產品介紹
技術新突破
自主研發推出第一款入光出光獨立的光譜共焦位移感測器、分離通道光纖，比傳統光纖減少50%以上光通路干擾，解決產業數十年來困擾。
最高測試精度達次微米級，面對透明薄膜最薄可測8μm。
超高測量精度
業界領先水平，產品解析度可達1nm級別。
自主研發靜態重複精度10nm等級的光譜共焦鏡頭，光斑小至3μm，光路較清晰，超高解析度可精準分離測量超薄膜樣品表面及背面反射光。
高穩定性
自主研發光結構，擁有穩定精密光學系統，不具惡劣環境，穩定測量。
採用高效率且準確的峰值擷取、濾波處理演算法。可準確快速的擷取峰值波長，確保光譜共焦感測器測量精度直線性
▶ 產品特色
- 高光強型
- 各性能參數均衡
- 適用高吸光率材質測量場景
▶ 產品規格
| 型號 | H40R2A33S34XL | H40R1A33S34XL | H40R06A33S34XL |
|---|---|---|---|
| 外觀尺寸 | 40mm*129.8mm | 40mm*129.8mm | 40mm*129.8mm |
| 基準距離 | 18.9mm | 19.5mm | 19.5mm |
| 測量範圍 | ±1.2mm | ±0.6mm | ±0.3mm |
| 最大可測角度 | ±33°鏡反射面 | ±33°鏡反射面 | ±33°鏡反射面 |
| 最小可測厚度 | 80μm | 40μm | 20μm |
| 線性精度 | ±0.6μm | ±0.3μm | ±0.15mm |
| 解析度 | 6nm | 3nm | 2nm |
| 光斑大小 | 34μm | 34μm | 34μm |
| 環境光照 | 20000lux | 20000lux | 20000lux |
| 外殼防護等級 | IP67 | IP67 | IP67 |
| 溫度漂移特性 | 0.005% of F.S. /℃ | 0.005% of F.S. /℃ | 0.005% of F.S. /℃ |
| 工作溫度 | -20~85℃ | -20~85℃ | -20~85℃ |
| 儲存溫度 | 4~51℃ | 4~51℃ | 4~51℃ |
| 重量 | 192g | 192g | 192g |
