光譜共焦位移感測器
H65A18系列
▶ 產品介紹
技術新突破
自主研發推出第一款入光出光獨立的光譜共焦位移感測器、分離通道光纖，比傳統光纖減少50%以上光通路干擾，解決產業數十年來困擾。
最高測試精度達次微米級，面對透明薄膜最薄可測8μm。
超高測量精度
業界領先水平，產品解析度可達1nm級別。
自主研發靜態重複精度10nm等級的光譜共焦鏡頭，光斑小至3μm，光路較清晰，超高解析度可精準分離測量超薄膜樣品表面及背面反射光。
高穩定性
自主研發光結構，擁有穩定精密光學系統，不具惡劣環境，穩定測量。
採用高效率且準確的峰值擷取、濾波處理演算法。可準確快速的擷取峰值波長，確保光譜共焦感測器測量精度直線性
▶ 產品特色
- 長距離型
- 尺寸大，量程更大
- 適用長工作距離要求場景
▶ 命名規則
| H65 | R23 | A18 | S14 |
|---|---|---|---|
| 產品直徑(mm) | 測量量程(mm) | 最大測量角度 | 光斑大小(μm) |
▶ 產品規格
| 型號 | H65R23A18S14 | H65R11A18S14 | H65R5A18S14 |
|---|---|---|---|
| 外觀尺寸 | 65mm*239.4mm | 65mm*239.4mm | 65mm*239.4mm |
| 基準距離 | 70.8mm | 76.7mm | 76.7mm |
| 測量範圍 | ±11.7mm | ±5.8mm | ±2.9mm |
| 最大可測角度 | ±18°鏡反射面 | ±18°鏡反射面 | ±18°鏡反射面 |
| 最小可測厚度 | 780μm | 390μm | 193μm |
| 線性精度 | ±5.8μm | ±2.9μm | ±1.5mm |
| 解析度 | 50nm | 25nm | 13nm |
| 光斑大小 | 14μm | 14μm | 14μm |
| 環境光照 | 20000lux | 20000lux | 20000lux |
| 外殼防護等級 | IP67 | IP67 | IP67 |
| 溫度漂移特性 | 0.005% of F.S. /℃ | 0.005% of F.S. /℃ | 0.005% of F.S. /℃ |
| 工作溫度 | -20~85℃ | -20~85℃ | -20~85℃ |
| 儲存溫度 | 4~51℃ | 4~51℃ | 4~51℃ |
| 重量 | 620g | 620g | 620g |
H65A52系列
▶ 產品介紹
技術新突破
自主研發推出第一款入光出光獨立的光譜共焦位移感測器、分離通道光纖，比傳統光纖減少50%以上光通路干擾，解決產業數十年來困擾。
最高測試精度達次微米級，面對透明薄膜最薄可測8μm。
超高測量精度
業界領先水平，產品解析度可達1nm級別。
自主研發靜態重複精度10nm等級的光譜共焦鏡頭，光斑小至3μm，光路較清晰，超高解析度可精準分離測量超薄膜樣品表面及背面反射光。
高穩定性
自主研發光結構，擁有穩定精密光學系統，不具惡劣環境，穩定測量。
採用高效率且準確的峰值擷取、濾波處理演算法。可準確快速的擷取峰值波長，確保光譜共焦感測器測量精度直線性
▶ 產品特色
- 超大角度型
- 大角度中量程最大
- 適用更多圓弧面形狀測量場景
▶ 產品規格
| 型號 | H65R3A52S13 | H65R1A52S13 | H65R07A52S13 |
|---|---|---|---|
| 外觀尺寸 | 65mm*274mm | 65mm*274mm | 65mm*274mm |
| 基準距離 | 15.9mm | 16.7mm | 16.7mm |
| 測量範圍 | ±1.5mm | ±0.75mm | ±0.375mm |
| 最大可測角度 | ±45°鏡反射面 | ±45°鏡反射面 | ±45°鏡反射面 |
| 最小可測厚度 | 100μm | 50μm | 25μm |
| 線性精度 | ±0.75μm | ±0.38μm | ±0.19mm |
| 解析度 | 6nm | 3nm | 2nm |
| 光斑大小 | 13μm | 13μm | 13μm |
| 環境光照 | 20000lux | 20000lux | 20000lux |
| 外殼防護等級 | IP67 | IP67 | IP67 |
| 溫度漂移特性 | 0.005% of F.S. /℃ | 0.005% of F.S. /℃ | 0.005% of F.S. /℃ |
| 工作溫度 | -20~85℃ | -20~85℃ | -20~85℃ |
| 儲存溫度 | 4~51℃ | 4~51℃ | 4~51℃ |
| 重量 | 590g | 590g | 590g |
